カーボンセパレーター

用途例

各種電池用カーボンセパレーター部材

形状

リブ形状

特徴

H2ガスを通さない緻密性しかも軽量

製品例写真

特性例

カーボンブロック(半導体装置部品)

用途例

エッチング電極：シャワーヘッド（スパッタ用途）、サセプター、エンドエフェクターなど

形状

様々な形状に対応できます

特徴

・セラミック、Sicに対して導電性があり静電気を逃がす
・製品寿命が長い（シリコンに対して）
・加工性（Sicに対して）
・セラミック、サファイヤグラスより熱伝導高いPFC:6～60w/m･k
・シリコンウエハーと熱膨張率が近い（3x10-61/℃）
・パーティクルレス
・耐熱性（酸素雰囲気～400℃：樹脂材料に対して優位）
・金属コンタミが少ない（金属材料に対して優位）
・高強度、軽量

製品例写真

機械特性表

メタルコンタミ測定