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カーボンブロック(半導体装置部品)

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特性: 導電性、高強度、耐熱性、耐腐食性
エッチング電極:シャワーヘッド(スパッタ用途)、サセプター、エンドエフェクターなど 様々な形状に対応できます ・セラミック、Sicに対して導電性があり静電気を逃がす
・製品寿命が長い(シリコンに対して)
・加工性(Sicに対して)
・セラミック、サファイヤグラスより熱伝導高いPFC:6~60w/m・k
・シリコンウエハーと熱膨張率が近い(3x10-61/℃)
・パーティクルレス
・耐熱性(酸素雰囲気~400℃:樹脂材料に対して優位)
・金属コンタミが少ない(金属材料に対して優位)
・高強度、軽量

製品例写真

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機械特性表

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メタルコンタミ測定

単位:PPM

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